产品说明
一般描述
缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。
应用
含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6：1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物，用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法，制造微生物芯片。
基本信息
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 形式 | liquid |
安全信息
| 象形图 |   |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H300 + H310 + H330 - H314 |
| 预防措施声明 | P260 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 |
| 危险分类 | Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A |
| 储存分类代码 | 6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials |
| WGK | WGK 2 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
Sigma-Aldrich
m.cnreagent.com
