产品说明
一般描述
三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应，作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。
应用
三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气(Hf(N(CH3)2)4)反应，用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积(ALD)。
包装
5, 25 g in glass bottle
基本信息
| 线性分子式 | ((CH3)3CO)3SiOH |
| 分子量 | 264.43 |
| MDL编号 | MFCD00271024 |
| PubChem化学物质编号 | 24879332 |
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 质量水平 | 100 |
| 测定 | 99.999% |
| 形式 | solid |
| bp | 205-210 ℃ (lit.) |
| mp | 63-65 ℃ (lit.) |
| SMILES string | CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C |
| InChI | 1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3 |
| InChI key | HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N |
安全信息
| 储存分类代码 | 13 - Non Combustible Solids |
| WGK | WGK 3 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
| 个人防护装备 | Eyeshields, Gloves, type N95 (US) |
Sigma-Aldrich
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