五（二甲基氨基）钽（V）

产品名称：

19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
Tantalum dimethylamide
TADMA
PDMAT
Ta(NMe₂)₅
五（二甲基氨基）钽（V）
钽二甲基胺

产品介绍：

产品说明

一般描述

基材原子数：73 钽

包装

5 g in glass bottle

特点和优势

氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O₂、H₂O、NO 或 H₂O₂ 时，还会形成氧化钽 (Ta₂O₅) 薄膜。 Ta₂O₅ 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。

基本信息

产品性质

质量水平	100
测定	99.99%
形式	solid
reaction suitability	core: tantalum reagent type: catalyst
mp	100 ℃ (dec.) (lit.)
SMILES string	CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI	1S/5C2H6N.Ta/c51-3-2;/h51-2H3;/q5*-1;+5
InChI key	VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H228 - H260 - H314
预防措施声明	P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
危险分类	Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 1
补充剂危害	EUH014
储存分类代码	4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGK	WGK 3
闪点(F)	Not applicable
闪点(C)	Not applicable
个人防护装备	Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges