产品说明
一般描述
镍铬合金蚀刻剂是一种由硝酸铈铵和硝酸混合而成的高纯度蚀刻体系。它可以用来蚀刻镍和铬合金。
应用
镍铬合金蚀刻剂可用于制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)、二氧化硅(SiO2)和玻璃基质的微加热器图形，从而进一步用于制备流量传感器。它还可用于从非晶硅片上电镀的镍中蚀刻出镍(Ni)。
硝酸铈铵基蚀刻剂。可蚀刻Al、Cr、Cu、Ni、GaAs。 Si、Ta/TaN的表面氧化。 40 ℃下蚀刻速率为50埃/秒。只需用去离子水冲洗干净即可蚀刻。
在室温或高温下使用。蚀刻干净，省去中间清洗环节。
包装
500 mL in poly bottle
特点和优势
旨在用于蚀刻在微电子应用中所用的镍铬薄膜。与正性和负性光致抗蚀剂均相容，可以最少的底切提供细线控制。经 0.2 微米过滤器过滤以除去微粒，并由半导体级材料构成。
基本信息
| MDL编号 | MFCD07370976 |
产品性质
| 质量水平 | 100 |
| 等级 | standard |
| 组成 | volatiles, 85% |
| 颜色 | clear yellow-orange |
| bp | 100 ℃/1 atm |
| 密度 | 1.16 g/mL at 25 ℃ |
安全信息
| 象形图 |     |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H272 - H290 - H314 - H317 - H411 |
| 预防措施声明 | P210 - P220 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338 |
| 危险分类 | Aquatic Chronic 2 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Ox. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Skin Sens. 1 |
| 补充剂危害 | EUH071 |
| 储存分类代码 | 5.1B - Oxidizing hazardous materials |
| WGK | WGK 3 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
Sigma-Aldrich
m.cnreagent.com
