产品说明

一般描述

钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。

应用

半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用(不需要稀释)。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力(速率在∼70%时下降)为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 ℃(30-40 ℃最常用)

包装

500 mL in poly bottle

制备说明

• 20℃ = 30 Å/秒
• 30℃ = 140 Å/秒 20℃ = 80 Å/秒
• 60℃ = 250 Å/秒

基本信息

产品性质

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H290 - H314 - H412
预防措施声明	P234 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
危险分类	Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
储存分类代码	8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials
WGK	WGK 2
闪点(F)	Not applicable
闪点(C)	Not applicable
个人防护装备	Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter