产品说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO₂)或氮化硅(Si₃N₄)的薄膜。它是氟化铵(NH₄F)和氢氟酸(HF)等缓冲液的混合物。浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。
BOE 6:1 is 6 parts by volume 40% ammonium fluoride and 1 part by volume 49% HF.

应用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6：1可用于栅极光刻(gate photolithography)的AlGaN / GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。

基本信息

产品性质

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H300 + H310 + H330 - H314
预防措施声明	P260 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
危险分类	Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
储存分类代码	6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
WGK	WGK 2
闪点(F)	Not applicable
闪点(C)	Not applicable