产品说明
一般描述
六氯乙硅烷(HCDS)是一种氯硅烷，可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂。
应用
HCDS可用于通过化学气相沉积(CVD)制备二氧化硅气凝胶，其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微电子应用的硅基薄膜。
HCDS可用作还原剂。它可以通过化学气相沉积(CVD)技术与氨结合形成氮化硅。
包装
5, 25 g in ampule
基本信息
| 线性分子式 | (SiCl3)2 |
| 分子量 | 268.89 |
| EC 号 | 236-704-1 |
| MDL编号 | MFCD00011599 |
| PubChem化学物质编号 | 24852311 |
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 测定 | 96% |
| 形式 | liquid |
| 折射率 | n |
| bp | 144-145.5 ℃ (lit.) |
| 密度 | 1.562 g/mL at 25 ℃ (lit.) |
| SMILES string | Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl |
| InChI | 1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6 |
| InChI key | LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N |
安全信息
| 象形图 |  |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H314 |
| 预防措施声明 | P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 - P363 - P405 |
| 危险分类 | Skin Corr. 1B |
| 补充剂危害 | EUH014 |
| 储存分类代码 | 8A - Combustible, corrosive hazardous materials |
| WGK | WGK 3 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
| 个人防护装备 | Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter |
Sigma-Aldrich
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